Cr及Cr-Ni掺杂对不同偏压下TiAlN薄膜性能的影响

梁伟忠, 王成磊, 张可翔, 梁朝杰, 谢映光, 林德民

材料保护 ›› 2021, Vol. 54 ›› Issue (2) : 76-80.

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材料保护 ›› 2021, Vol. 54 ›› Issue (2) : 76-80. DOI: 10.16577/j.cnki.42-1215/tb.2021.02.013
工艺探讨

Cr及Cr-Ni掺杂对不同偏压下TiAlN薄膜性能的影响

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Effects of Doping Cr and Cr-Ni on the Properties of TiAlN Thin Films under Different Bias Voltage

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