工作气体对含氢DLC涂层热稳定性及力学性能的影响

毕君, 彭继华, 李烈军, 周峰

材料保护 ›› 2021, Vol. 54 ›› Issue (6) : 16-21.

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材料保护 ›› 2021, Vol. 54 ›› Issue (6) : 16-21. DOI: 10.16577/j.cnki.42-1215/tb.2021.06.003
试验研究

工作气体对含氢DLC涂层热稳定性及力学性能的影响

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Effect of Working Gas on the Thermal Stability and Mechanical Property of Hydrogenated DLC Coatings

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