基于ZrN系列陶瓷硬质薄膜的研究现状与进展

汪凯, 张高会, 汪阳

材料保护 ›› 2022, Vol. 55 ›› Issue (5) : 149-155.

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材料保护 ›› 2022, Vol. 55 ›› Issue (5) : 149-155. DOI: 10.16577/j.issn.1001-1560.2022.0139
综述

基于ZrN系列陶瓷硬质薄膜的研究现状与进展

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Research Status and Progress of ZrN Series Ceramic Hard Films

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