含Nb氮化物硬质膜的研究现状及展望

苏富斌, 张钧, 王晓阳, 钱春晖, 陈磊

材料保护 ›› 2022, Vol. 55 ›› Issue (9) : 134-140.

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材料保护 ›› 2022, Vol. 55 ›› Issue (9) : 134-140. DOI: 10.16577/j.issn.1001-1560.2022.0258
综述

含Nb氮化物硬质膜的研究现状及展望

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Research Status and Prospect of Nb - Containing Nitride Hard Film

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