计算流体力学(CFD)在化学气相沉积(CVD)模拟仿真中的应用

张博闻, 吴勇, 杨甫, 夏思瑶, 黄天纵, 孟施旭

材料保护 ›› 2022, Vol. 55 ›› Issue (9) : 141-147.

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材料保护 ›› 2022, Vol. 55 ›› Issue (9) : 141-147. DOI: 10.16577/j.issn.1001-1560.2022.0259
综述

计算流体力学(CFD)在化学气相沉积(CVD)模拟仿真中的应用

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Application of Computational Fluid Dynamics in Chemical Vapor Deposition Simulation

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