不同负偏压下多弧离子镀TiAlN薄膜的微观结构与耐腐蚀性研究

doi:10.16577/j.issn.1001-1560.2022.0285

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材料保护 ›› 2022, Vol. 55 ›› Issue (10) : 118-122. DOI: 10.16577/j.issn.1001-1560.2022.0285

工艺探讨

不同负偏压下多弧离子镀TiAlN薄膜的微观结构与耐腐蚀性研究

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Study on Microstructure and Corrosion Resistance of TiAlN Films Deposited by Multi - Arc Ion Plating under Different Negative Bias Voltages

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