磁控溅射CrAlSiN膜层的高温性能研究

何月漫, 刘展硕, 柳 泉, 刘 贺, 杜晓明, 张 罡

材料保护 ›› 2023, Vol. 56 ›› Issue (1) : 16-21.

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材料保护 ›› 2023, Vol. 56 ›› Issue (1) : 16-21. DOI: 10.16577/j.issn.1001-1560.2023.0003
试验研究

磁控溅射CrAlSiN膜层的高温性能研究

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Study on High Temperature Performance of Magnetron Sputtered CrAlSiN Film

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