阴极多弧离子镀CrAlN涂层表面质量优化研究

连信宇, 王欣, 聂高升, 胡鹏, 所新坤

材料保护 ›› 2023, Vol. 56 ›› Issue (3) : 57-64.

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材料保护 ›› 2023, Vol. 56 ›› Issue (3) : 57-64. DOI: 10.16577/j.issn.1001-1560.2023.0060
工艺探讨

阴极多弧离子镀CrAlN涂层表面质量优化研究

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Optimization of Surface Quality of CrAlN Coatings Fabricated Using Cathode Multi-Arc Ion Plating

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