氮氩比对多弧离子镀TiAlSiN薄膜形貌和性能的影响

覃群, 吴浩龙, 王天国

材料保护 ›› 2023, Vol. 56 ›› Issue (4) : 110-115.

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材料保护 ›› 2023, Vol. 56 ›› Issue (4) : 110-115. DOI: 10.16577/j.issn.1001-1560.2023.0091
工艺探讨

氮氩比对多弧离子镀TiAlSiN薄膜形貌和性能的影响

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Effect of Nitrogen / Argon Ratio on Microstructure and Properties of TiAlSiN Film Prepared by Multi-Arc Ion Plating

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