化学气相沉积生长TaC涂层的高通量热力学分析

孙清云, 陈辉, 李士栋, 张翅腾飞

材料保护 ›› 2024, Vol. 57 ›› Issue (4) : 11-19.

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材料保护 ›› 2024, Vol. 57 ›› Issue (4) : 11-19. DOI: 10.16577/j.issn.1001-1560.2024.0073
研究篇

化学气相沉积生长TaC涂层的高通量热力学分析

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High-Throughput Thermodynamic Analysis of TaC Coatings by Chemical Vapor Deposition

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