CVD法制备SiC涂层的工艺影响分析

陈良财, 尹翔, 王青春, 龙连春

材料保护 ›› 2024, Vol. 57 ›› Issue (11) : 110-117.

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材料保护 ›› 2024, Vol. 57 ›› Issue (11) : 110-117. DOI: 10.16577/j.issn.1001-1560.2024.0255
工艺篇

CVD法制备SiC涂层的工艺影响分析

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Analysis of the Process Influences on the Preparation of SiC Coatings by Chemical Vapor Deposition

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