工艺参数对磁控溅射制备Ag涂层微观性能的影响研究

黄鑫宇, 戎文娟, 黄永玲, 王佳琳

材料保护 ›› 2024, Vol. 57 ›› Issue (11) : 147-155.

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材料保护 ›› 2024, Vol. 57 ›› Issue (11) : 147-155. DOI: 10.16577/j.issn.1001-1560.2024.0259
工艺篇

工艺参数对磁控溅射制备Ag涂层微观性能的影响研究

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Study on the Effects of Process Parameters on the Micro Properties of Ag Coatings Prepared by Magnetron Sputtering

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