基体偏压幅值对NiCrN 薄膜微观结构及力学性能的影响

赵彦辉, 赵鑫, 宋贵宏

材料保护 ›› 2024, Vol. 57 ›› Issue (12) : 122-130.

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材料保护 ›› 2024, Vol. 57 ›› Issue (12) : 122-130. DOI: 10.16577/j.issn.1001-1560.2024.0277
工艺篇

基体偏压幅值对NiCrN 薄膜微观结构及力学性能的影响

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Effect of Substrate Bias Voltage Amplitude on the Microstructure and Mechanical Properties of NiCrN Films

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