甲烷流量对类金刚石复合碳薄膜结构及低真空摩擦学性能的影响

王湛卓, 李红轩

材料保护 ›› 2025, Vol. 58 ›› Issue (9) : 68-80.

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材料保护 ›› 2025, Vol. 58 ›› Issue (9) : 68-80. DOI: 10.16577/j.issn.1001-1560.2025.0151
研究论文

甲烷流量对类金刚石复合碳薄膜结构及低真空摩擦学性能的影响

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The Effect of Methane Flow Rate on the Structure and Low-Vacuum Tribological Properties of Diamond-Like Carbon Composite Films

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