磁控溅射电流对刀具表面Al/Cr-DLC膜组织和力学性能的影响

冯金广, 程改兰, 贺大伟

材料保护 ›› 2021, Vol. 54 ›› Issue (9) : 86.

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材料保护 ›› 2021, Vol. 54 ›› Issue (9) : 86. DOI: 10.16577/j.cnki.42-1215/tb.2021.09.016
工艺探讨

磁控溅射电流对刀具表面Al/Cr-DLC膜组织和力学性能的影响

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Effect of Magnetron Sputtering Current on the Microstructure and Mechanical Properties of Al/Cr - DLC Films on Tool Surface

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