基体位置对封闭磁控溅射制备CrN镀层微观结构和力学性能的影响

doi:10.16577/j.issn.1001-1560.2022.0165

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材料保护 ›› 2022, Vol. 55 ›› Issue (6) : 120-126. DOI: 10.16577/j.issn.1001-1560.2022.0165

工艺探讨

基体位置对封闭磁控溅射制备CrN镀层微观结构和力学性能的影响

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Influence of Substrate Position on the Microstructure and Mechanical Properties of CrN Coating Prepared by Closed Magnetron Sputtering

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