氮化钼薄膜的制备、性能及其应用研究进展

童品森, 魏宁, 吴宏荣

材料保护 ›› 2023, Vol. 56 ›› Issue (10) : 182-193.

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材料保护 ›› 2023, Vol. 56 ›› Issue (10) : 182-193. DOI: 10.16577/j.issn.1001-1560.2023.0249
综述

氮化钼薄膜的制备、性能及其应用研究进展

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Research Progress of the Preparation， Properties and Application of Molybdenum Nitride Films

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