等离子体刻蚀对聚苯乙烯微球尺寸缩减的工艺优化研究

孙士阳, 黄胜保, 钱远近, 刘东昆, 李嘉彬, 任元, 张文兴

材料保护 ›› 2025, Vol. 58 ›› Issue (7) : 58-65.

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材料保护 ›› 2025, Vol. 58 ›› Issue (7) : 58-65. DOI: 10.16577/j.issn.1001-1560.2025.0114
研究论文

等离子体刻蚀对聚苯乙烯微球尺寸缩减的工艺优化研究

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Process Optimization of Plasma Etching on the Size Reduction of Polystyrene Microspheres

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