磁控溅射沉积不同膜结构TiN薄膜对Si3N4基底的耐磨性能改善研究

doi:10.16577/j.issn.1001-1560.2025.0117

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材料保护 ›› 2025, Vol. 58 ›› Issue (7) : 85-95. DOI: 10.16577/j.issn.1001-1560.2025.0117

研究论文

磁控溅射沉积不同膜结构TiN薄膜对Si₃N₄基底的耐磨性能改善研究

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Research on the Improvement of Wear Resistance of Si₃N₄ Substrate by Magnetron Sputtering Deposition of TiN Thin Films with Different Film Structures

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