成分调控对磁控溅射AlCrNbSiTi高熵合金涂层的结构及性能影响研究

doi:10.16577/j.issn.1001-1560.2025.0183

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材料保护 ›› 2025, Vol. 58 ›› Issue (11) : 1-10. DOI: 10.16577/j.issn.1001-1560.2025.0183

硬质薄膜技术与表面防护专栏

成分调控对磁控溅射AlCrNbSiTi高熵合金涂层的结构及性能影响研究

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Effect of Composition Regulation on the Structure and Properties of AlCrNbSiTi High-Entropy Alloys Coatings by Magnetron Sputtering

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