采用偏压与氮气交互作用策略构建高硬度的Ti3AlN涂层

马三保, 贾丹, 黄瑞华, 徐正田, 施志军, 邢晓磊, 杨庆祥, 周野飞

材料保护 ›› 2025, Vol. 58 ›› Issue (11) : 45-52.

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材料保护 ›› 2025, Vol. 58 ›› Issue (11) : 45-52. DOI: 10.16577/j.issn.1001-1560.2025.0188
硬质薄膜技术与表面防护专栏

采用偏压与氮气交互作用策略构建高硬度的Ti3AlN涂层

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Constructing High-Hardness Ti3AlN Coatings Using Bias Voltage and Nitrogen Interaction Strategy

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