基底偏压对HiPIMS沉积Cr/CrN/WC涂层结构和摩擦学性能的影响

吴美玲, 酆毅, 姜其立, 车智强, 杜宇康, 杨龙岗, 郎小月, 王克胜, 欧伊翔

材料保护 ›› 2025, Vol. 58 ›› Issue (11) : 53-61.

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材料保护 ›› 2025, Vol. 58 ›› Issue (11) : 53-61. DOI: 10.16577/j.issn.1001-1560.2025.0189
硬质薄膜技术与表面防护专栏

基底偏压对HiPIMS沉积Cr/CrN/WC涂层结构和摩擦学性能的影响

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Effect of Substrate Bias on the Structural and Tribological Properties of Cr/CrN/WC Coatings Deposited by HiPIMS

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