不同负偏压下多弧离子镀TiAlN薄膜的微观结构与耐腐蚀性研究
收稿日期: 2022-04-21
修回日期: 2022-05-23
录用日期: 2022-07-06
网络出版日期: 2023-12-23
基金资助
湖北省教育厅科学技术项目(Q20181802) 资助
Study on Microstructure and Corrosion Resistance of TiAlN Films Deposited by Multi - Arc Ion Plating under Different Negative Bias Voltages
Received date: 2022-04-21
Revised date: 2022-05-23
Accepted date: 2022-07-06
Online published: 2023-12-23
赵磊, 梁启超, 刘传龙, 王天国 . 不同负偏压下多弧离子镀TiAlN薄膜的微观结构与耐腐蚀性研究[J]. 材料保护, 2022 , 55(10) : 118 -122 . DOI: 10.16577/j.issn.1001-1560.2022.0285
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