磁控溅射CrAlSiN膜层的高温性能研究
收稿日期: 2022-07-24
修回日期: 2022-08-07
录用日期: 2022-09-05
网络出版日期: 2023-07-25
基金资助
TiAlN/CrAlN纳米多层膜材料界面结构中子反射研究(中国工程物理研究院中子物理学重点实验室开放基金资助项目2014BB05); 2020年辽宁省教育厅科学研究经费项目(LG202020);
Study on High Temperature Performance of Magnetron Sputtered CrAlSiN Film
Received date: 2022-07-24
Revised date: 2022-08-07
Accepted date: 2022-09-05
Online published: 2023-07-25
关键词:
磁控溅射; CrAlSiN 膜层; 抗氧化性; 磨损率
何月漫, 刘展硕, 柳 泉, 刘 贺, 杜晓明, 张 罡 . 磁控溅射CrAlSiN膜层的高温性能研究[J]. 材料保护, 2023 , 56(1) : 16 -21 . DOI: 10.16577/j.issn.1001-1560.2023.0003
Key words:
magnetron sputtering; CrAlSiN film; oxidation resistance; wear rate
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