氮化钼薄膜的制备、性能及其应用研究进展

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童品森, 魏宁, 吴宏荣

Research Progress of the Preparation， Properties and Application of Molybdenum Nitride Films

TONG Pinsen, WEI Ning, WU Hongrong

材料保护 . 2023, (10): 182 -193 . DOI: 10.16577/j.issn.1001-1560.2023.0249

ISSN 1001-1560　CN 42-1215/TB
主管部门：中国机械工业联合会
主办单位：武汉材料保护研究所有限公司
编辑出版：《材料保护》编辑部

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