化学气相沉积生长TaC涂层的高通量热力学分析

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孙清云, 陈辉, 李士栋, 张翅腾飞

High-Throughput Thermodynamic Analysis of TaC Coatings by Chemical Vapor Deposition

SUN Qingyun, CHEN Hui, LI Shidong, ZHANG Chitengfei

材料保护 . 2024, (4): 11 -19 . DOI: 10.16577/j.issn.1001-1560.2024.0073

ISSN 1001-1560　CN 42-1215/TB
主管部门：中国机械工业联合会
主办单位：武汉材料保护研究所有限公司
编辑出版：《材料保护》编辑部

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